随着芯片生产的需求不断增加,您是否正在寻找改进集成电路制造工艺的方法?
纳米领域高分辨率的精准控制
半导体芯片的生产是世界上最复杂、最先进的制造工艺之一,需要先进的设备。
在半导体制造过程中,气体压力的精确控制与维持所生产芯片的质量息息相关。
电动气动压力调节器在确保半导体制造的各个阶段保持一致的压力水平方面发挥着至关重要的作用。
当您的产品需要在纳米领域进行生产,则需要确保您的气动装置与工艺一样精确:
· 当您不能冒损坏硅片的风险时
· 精确控制需要最高公差的压力控制阀
半导体加工制造工艺中,涉及多种高纯特气的供给与调压,需要使用高压减压阀、背压阀等产品,可用于气态,液态及很多特殊有腐蚀性的流体控制。